钛铝TiAl合金靶材-一种真空镀膜用溅射靶材的制备

钛铝合金是一种真空镀膜用合金溅射靶材，在该合金中通过调配钛与铝的含量可以获得不同特性 的钛铝合金靶材。钛铝金属间化合物属于硬脆材 料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆着一层钛 铝金属间化合物，可以有效延长刀具的使用时间。

溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度 与靶材制备工艺直接相关。金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法，主要原因如下：

(1) 钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物，如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，这些金属间化合物的存 在导致钛铝合金的加工脆性，特别是当合金中铝含 量超过50％(原子比)，该问题尤为明显；

(2)熔炼工 艺制备钛铝合金靶材，浇注过程中易产生气泡、疏松 和偏析，造成合金中成分与组织不均匀，导致靶材品 质不稳定蚓6。

目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有：强 电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。

1.强电流加热法

该法采用可获得大电流的装置， 利用大电流使钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛 自身反应形成钛铝合金靶材。该法制备得到的钛铝合金靶材产品的致密度 >99％，晶粒尺寸≤100微米，纯度>99％。

2.热等静压烧结法

该法将钛粉和铝粉进行混料，然后 经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热 等静压压制成型，最后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。该法制备的钛铝合金靶材具有致密度高、无气 孔、无疏松和偏析、成分均匀、晶粒细小等特点。

3.热压烧结法

该工艺使钛铝粉体在热和力的共同 作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点 低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。热压 烧结示意图如图2所示。该法制备得到的合金靶材致密度高(≥95％)， 晶粒尺寸细小(≤100 微米)，成分均匀。用该工艺可 制备出不同成分的钛铝合金靶材。

产品：

镍钒合金靶材

镍铁合金靶材

镍铬合金靶材

铁钴合金靶材

铁钴钽锆合金靶

钴钽锆合金靶材

铜镓合金靶材

铜铟合金靶材

铜铟镓合金靶材

钛铝合金靶材

镁铝合金靶材

铝硼合金靶材

铝铜合金靶材

铝硅合金靶材

铝钇合金靶材

铝铬合金靶材

铝铁合金靶材

铝钛合金靶材

铝钪合金靶材

铝钒合金靶材

铝铬钇合金靶材

金锗合金靶材

金银合金靶材

金锡合金靶材

金镍合金靶材

锇铱合金靶材

锇铱铝合金靶材

锇铼合金靶材

锇钨合金靶材

锇钌合金靶材

银铜合金靶材

银金合金靶

银锡合金靶材

银铟合金靶材

银锌合金靶材

钯银合金靶材

钯铁合金靶材

金铜合金靶材

钌钴铬合金靶材

钌铬钛合金靶材

钌钽合金靶材

铂钴合金靶材

铂镍合金靶材

铂铁合金靶材

铱锰合金靶材

小编：axc