Lift off光刻胶(KXN5735-LO/LOL2000/3000/ROL-7133)

Lift off光刻胶型号光源类型分辨率厚度(μm)适用范围KXN5735-LOg/h/i-Line负性4μm2.2-5.2负性光刻胶;倒角65-80°,使用普通正胶显影液显影。LOL2000/3000g/h/i-Line/NA130nm-300nm非感光性树脂,可以被显影液溶解,作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。ROL-7133g/h/i-Line/4um2.8-4负性光刻胶,倒角75~80°,使用普通正胶显影液。

正性光刻胶显影示意图按显示效果分类;光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶。负性光刻胶显影时形成的图形与光罩(掩膜版)相反;正性光刻胶形成的图形与掩膜版相同。两者的生产工艺流程基本一致,区别在于主要原材料不同。

负性光刻胶显影示意图按照化学结构分类;光刻胶可以分为光聚合型,光分解型,光交联型和化学放大型。光聚合型光刻胶采用烯类单体,在光作用下生成自由基,进一步引发单体聚合,后生成聚合物;

光聚合反应示意图3,6-二叔丁基咔唑37500-95-13,6-二溴咔唑6825-20-31-溴咔唑16807-11-72-溴咔唑3652-90-22-氯咔唑10537-08-32-羟基咔唑86-79-33-溴咔唑1592-95-63,6-二苯基-9H-咔唑56525-79-24-溴-9H-咔唑3652-89-93-苯基-9H-咔唑103012-26-611,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑1329054-41-29-(4-溴苯基)咔唑57102-42-810-溴-7H-苯并[c]咔唑1698-16-49-(3-溴苯基)-9H-咔唑185112-61-29-(2-溴苯基)-9H-咔唑902518-11-03-溴-N-苯基咔唑1153-85-13,6-二溴-9-苯基咔唑57103-20-53-碘-9-苯基咔唑502161-03-79-(1-萘基)-3-溴咔唑934545-83-23-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑1028647-93-92-溴-9-苯基-9H-咔唑94994-62-42-(2-氯苯基)-1H-苯并咪唑3574-96-73,3'-联咔唑1984-49-23,9'-联咔唑18628-07-4吲哚并[3,2-b]咔唑241-55-4吲哚并[3,2-b]咔唑6336-32-95,11-二氢-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑1260228-95-25,7-二氢-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑1257220-47-59-(4'-溴联苯-4-基)-9H-咔唑212385-73-44,4'-二(9-咔唑)联苯58328-31-75,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑1346645-54-25,7-二氢-吲哚并[2,3-b]咔唑111296-90-3吲哚并[2,3-a]咔唑60511-85-59H-咔唑-3-硼酸频哪醇酯855738-89-59-(4-苯基苯基)咔唑6299-16-714H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑1313395-18-49-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑1221237-83-72,7-二溴咔唑36630-39-22-苯基-9H-咔唑88590-00-5咔唑86-74-89H-咔唑-3,6-二甲腈57103-03-43,6-二碘咔唑57103-02-33-氰基咔唑57102-93-99,9'-二([1,1'-联苯]-4-基)-3,3'-联-9H-咔唑57102-51-93-氯咔唑2732-25-4N-(3-联苯基)-N-(4-联苯基)-3,3-双咔唑1643479-47-35,7-二氢-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑1448296-00-19'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑1060735-14-93,6-二乙氧基咔唑1707264-12-79-苯基-9H,9H-3,3-咔唑10607435-14-99-乙烯卡唑1484-13-54-硼酸三苯胺201802-67-7二苯并噻吩-4-硼酸108847-20-7(3,5-二苯基苯)硼酸128388-54-53-溴苯硼酸89598-96-9苯硼酸98-80-62-硝基苯基硼酸5570-19-42-氟苯硼酸1993/3/94-甲苯硼酸5720/5/82,4-二氟苯硼酸144025-03-64-氟苯硼酸1765-93-12-氯苯基硼酸3900-89-83-氯苯硼酸63503-60-62-联苯硼酸4688-76-03-联苯硼酸5122-95-24-联苯硼酸5122-94-11-萘硼酸13922-41-32-萘硼酸32316-92-09-蒽硼酸100622-34-2荧蒽-3-硼酸359012-63-89-菲硼酸68572-87-24-(1-萘基)苯硼酸870774-25-74-(2-萘基)苯硼酸918655-03-5苯并菲-2-硼酸654664-63-81-芘硼酸164461-18-1(10-苯基蒽-9-基)硼酸334658-75-2[10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸400607-46-7B-(10-[1,1'-联苯]-4-基-9-蒽基)硼酸400607-47-89,9-二甲基芴-2-硼酸333432-28-3wyf 01.26

(0)

相关推荐