32层堆栈,国产3D NAND闪存性能、功能、可靠性已达标

闪存芯片是国家大基金确立的半导体芯片产业最优先的方向之一,也是目前最紧迫的产业,因为全球的NAND闪存主要掌握在三星、东芝、美光、SK Hynix等公司手中,基本上没有中国公司能染指NAND生产,更影响不了定价和技术发展。紫光公司主导的长江存储科技在武汉投资240亿美元建设国家存储芯片基地,他们的主要产品就是国产3D NAND闪存。来自中科院的消息称,长江存储研发的3D NAND闪存已经取得标志性进展,堆栈层数达到了32层,性能、功能、可靠性等关键指标已经达到了预期要求。

在IC咖啡首届国际智慧科技产业峰会(ICTech Summit 2017)上,长江存储CEO杨士宁表示国产32层3D NAND芯片顺利通过电学特性等各项指标测试,达到预期要求。该款存储器芯片由长江存储与(中科院)微电子所三维存储器研发中心联合开发,在微电子所三维存储器研发中心主任、长江存储NAND技术研发部项目资深技术总监霍宗亮的带领下,成功实现了工艺器件和电路设计的整套技术验证,向产业化道路迈出具有标志性意义的关键一步。

相比传统的平面闪存,3D NAND闪存的优势多多,我们之前的超能课堂:3D NAND闪存是什么,引中国厂商竞折腰?一文中已经做过介绍,不论性能还是可靠性,亦或者是容量、成本,3D NAND闪存都比普通NAND更有优势,将是各大闪存厂商未来的主力产品,主流堆栈层数也从前两年的24层、32层提升到48层、64层甚至72层。

可靠性也是影响闪存的关键,根据杨士宁所说,他们的器件团队通过大量的实验和数据分析,寻找影响各种可靠性特性的关键因素,并和工艺团队紧密协作,完成了器件各项可靠性指标的优化,最终成功实现了全部可靠性参数达标。

在电路设计层面,堆叠三维阵列的集成研发面临比平面型NAND更复杂的技术问题,需要结合三维器件及阵列结构特点进行分析和优化。设计团队对三维存储结构进行建模,采用根据层数可调制的编程、读取电压配置,补偿了器件特性随阵列物理结构的分布差异,降低了单元串扰影响。并且,应用了诸多创新性的先进设计技术,保证了芯片达到产品级的功能和性能指标。

3D NAND阵列TEM照片

芯片版图布局(左),擦除操作测试波形(右)

不过长江存储的3D NAND闪存现在还只是完成了技术验证,距离实际生产还有段距离,不仅是因为武汉的生产工厂还没有竣工,更重要的是技术验证跟大规模量产并不一样,实验室作出性能、可靠性稳定的产品并不代表工业生产的产品就是如此,半导体产业之所以门槛高也是因为其复杂性。

根据紫光之前的公告,武汉存储器国家基地主要有三期建设工程,首先是NAND工厂,2018年完工,而2018年还会开工建设DRAM工厂,2019年则会上马三期工程,主要目标是代工服务,基地的产能也会越来越大,2020年目标是30万片晶圆/月,2030年则是100万片晶圆/月。

考虑到国内外技术差距,国产3D NAND闪存量产之后我们对它的性能期待就不要太高,但国产闪存的加入对三星、东芝、美光等公司来说是个压力,也多了竞争的可能性,至少可以推动闪存降价,对消费者来说也是好事一件。

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