蓝宝石衬底上Si3N4膜|蓝宝石和硅衬底上氮化硅(Si3N4)薄膜|硅衬底上直接合成了Si3N4/SiO2同轴纳米线|不同基底偏压条件下CrN/Si3N4纳米多层膜
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