关于OLED制程中的光刻技术，最受关注的细节都在这里···

在OLED生产过程当中

光刻

也是一个非常重要环节

那它是从事何种“工作”的呢？

~~~上图~~~

光刻是什么？

光刻是一种将光掩模上的图形通过光学方式转印到平板上的技术。

根据制作图形目的不同，作为转印对象的平板（也就是基板）材质会有所不同。制造LSI时用的是硅片，制造FPD时用的是玻璃板，制造PCB时用的是树脂板。

再详细点

光刻工艺技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

其主要过程为：

首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应；

再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶（前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶），使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上；

最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。