石墨烯旗舰启动首条欧洲石墨烯基电子、光电子和传感器中试线

应欧盟委员会的邀请,石墨烯旗舰正在建设一条用于生产石墨烯基电子、光电子和传感器的中试线,这是第一个实验性制造设备。在这里,欧洲公司、研究中心和学术机构能够中试规模地制造基于二维材料的新颖器件。

European Experimental Pilot

这项雄心勃勃的项目的目标是演示如何较大规模生产基于二维材料的器件,以满足市场需求。这是石墨烯技术向大规模生产转移的关键一步。

石墨烯旗舰提议成立一个由覆盖整个产业链的欧洲主要参与者,包括工具制造商、化学制品和材料供应商及半导体生产线:Aixtron and Oxford Instruments(英国)、imec(比利时)、AMO、iHP、Micro Resist Technology、Aixtron和Suss Microtech(德国)、Graphenea(西班牙)和VTT(芬兰)。该项目将于2020年10月8日星期四举行在线启动会议。

Lilei Ye

“在许多应用中,石墨烯和其他潜在的二维材料的晶圆级集成是产品上市所必需的,”石墨烯旗舰公司电子应用业务人员LileiYe说,“二维中试线 (2D-EPL)将加速集成石墨烯和层状材料的电子、光子学和光电子新原型的制造。”

Jari Kinaret

“二维材料对电子、光子器件及传感器都具有独特的性能,”二维中试线 (2D-EPL)项目技术负责人、imec探索性材料和模块集成项目经理Cedric Huyghebaert说,“现在有很多基于二维材料的原型器件性能超过了当前的技术。为了开拓这些器件的市场,我们需要开发工具包和设计手册,这也可以保证制造工艺和半导体行业标准相匹配。

“二维中试线 (2D-EPL)项目展示了欧盟委员会如何通过石墨烯旗舰项目,在欧洲的研究、开发和工业中产生影响,”石墨烯旗舰主管Jari Kinaret说,“我们发现了一个挑战--提高石墨烯基电子产品的生产规模--欧盟委员会听取了我们的意见,并找到了应对这个挑战的资金。”

二维中试线 (2D-EPL)项目将使电子、光子和传感器应用的新器件在制造业典型环境中的设计成为可能。时间表非常明确:中试线的工艺和协议应在2024年前全面运行。这些工艺流程将在全欧洲最先进的洁净室环境中进行验证,包括AMO、iHP、imec和VTT。

为了帮助建立覆盖整个产业链的二维材料的欧洲生态系统,二维中试线 (2D-EPL)项目将对全社会开放,利用用户和服务提供商之间的分摊成本模型。目标是为欧洲或其他地方研究人员和创新者提供一个可持续的、个性服务,并将它纳入欧洲实践框架。

Cedric Huyghebaert

二维中试线 (2D-EPL)项目可以依靠查尔默斯理工大学(瑞典)石墨烯旗舰团队在行政、业务开发和传播支持方面的专业知识来进行。其技术和科学管理由imec领导,并由来自试验线整合地点的主要研究人员组成的核心技术指导小组提供支持。此外,该项目由一个工业咨询委员会指导,该委员会由欧洲半导体行业的主要参与者组成,如X-FAB、Infineon和Emberion。委员会将随时了解2D-EPL项目的进展情况和制定的解决方案,还将提供关于行业要求和规范、市场分析和项目预期的反馈。

二维中试线 (2D-EPL)建立在石墨烯旗舰项目合作伙伴现有活动的基础上,并与石墨烯核心3项目密切相关。然而,这些活动是对旗舰店其他部分研发的活动的补充,并涉及新的参与者。新的2D-EPL项目的重点和组织不同于其余旗舰项目,并且与其他现有的欧洲试验线密切相关。

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