光刻胶的生产工艺简要流程

光刻胶所属的微电子化学品是电子行业与化工行业交叉的领域,是典型的技术密集行业。从事微电子化学品业务需要具备与电子产业前沿发展相匹配的关键生产技术,如混配技术、分离技术、纯化技术以及与生产过程相配套的分析检验技术、环境处理与监测技术等。同时,

下游电子产业多样化的使用场景要求微电子化学品生产企业有较强的配套能力,以及时研发和改进产品工艺来满足客户的个性化需求。

光刻胶的生产工艺主要过程是将感光材料、树脂、溶剂等主要原料在恒温恒湿 1000 级的黄光区洁净房进行混合,在氮气气体保护下充分搅拌,使其充分混合形成均相液体,经过多次过滤,并通过中间过程控制和检验,使其达到工艺技术和质量要求,后做产品检验,合格后在氮气气体保护下包装、打标、入库。

光刻胶的生产工艺简要流程

光刻胶的技术壁垒包括配方技术,质量控制技术和原材料技术。配方技术是光刻胶实现功能的核心,质量控制技术能够保证光刻胶性能的稳定性而高品质的原材料则是光刻胶性能的基础。

配方技术:由于光刻胶的下游用户是IC芯片和FPD面板制造商,不同的客户会有不同的应用需求,同一个客户也有不同的光刻应用需求。一般一块半导体芯片在制造过程中需要进行10-50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。针对以上不同的应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商核心的技术。

质量控制技术:由于用户对光刻胶的稳定性、一致性要求高,包括不同批次间的一致性,通常希望对感光灵敏度、膜厚的一致性保持在较高水平,因此,光刻胶生产商不仅仅要配臵齐全的测试仪器,还需要建立一套严格的QA体系以保证产品的质量稳定。

原材料技术:光刻胶是一种经过严格设计的复杂、精密的配方产品,由成膜剂、光敏剂、溶剂和添加剂等不同性质的原料,通过不同的排列组合,经过复杂、精密的加工工艺而制成。因此,光刻胶原材料的品质对光刻胶的质量起着关键作用。对于半导体化学化学试剂的纯度,际半导体设备和材料组织(SEMI)制定了国际统一标准,

SEMI 超净高纯试剂标准

半导体集成电路用试剂材料的纯度要求较高,基本集中在SEMI G3、G4水平,我国的研发水平与国际尚存在较大差距;半导体分立器件对超净高纯试剂纯度的要求要低于集成电路,基本集中在 SEMI G2 级水平,国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需要;平板显示和 LED 领域对于超净高纯试剂的等级要求为 SEMI G2、G3 水平,国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求。

2-溴螺[9H-芴-9,9'-[9H]氧杂蒽]899422-06-1

9,9-二苯基-3-溴芴1547491-70-2

4-溴芴酮4269-17-4

2,7-二溴-9,9-二苯基芴186259-63-2

5,9-二溴-7,7-二苯基-7H-苯并[c]芴854952-90-2

2-溴-9,9-二氟-7-碘-9H-芴1499193-60-0

9,9-二甲基-2-溴芴28320-31-2

9-溴-7,7-二甲基-7H-苯并[c]芴1198396-46-1

2,2,7,7-四溴-9,9-螺二芴128055-74-3

4-溴-9,9-二苯基芴713125-22-5

2-氨基-9,9-二甲基芴108714-73-4

2-溴-9,9-二苯基芴474918-32-6

9-(4-溴苯基)-9-苯基芴937082-81-0

9,9-二苯基-2-氨基芴1268519-74-9

2,7-二溴-9,9-二甲基芴28320-32-3

2-溴-9-芴酮3096-56-8

4-溴-9,9'-螺双[9H-芴]1161009-88-6

4,5-二氮芴-9-酮50890-67-0

2,7-二溴-9-芴酮14348-75-5

双酚芴3236-71-3

9,9-双(4-溴苯基)-9H-芴128406-10-0

N-(3-联苯基)-9,9-二苯基-2-氨基芴1607480-14-7

3-溴芴-9-酮2041-19-2

芴-2-硼酸频哪醇酯922706-40-9

芴-2-硼酸片呐醇酯569343-09-5

联苯螺二芴-2-胺1258514-95-2

2-叔丁基-8-溴-氧芴1438391-33-3

2-溴-9,9-二甲基芴23320-31-2

三亚苯217-59-4

2-溴菲62162-97-4

9-溴菲573-17-1

2-溴苯并[9,10]菲, 2-溴三亚苯19111-87-6

2-(3-溴苯基)苯并菲1313514-53-2

2-氯-1,10-菲啰啉7089-68-1

2,7-二溴菲醌84405-44-7

3,6-二溴-9,10-菲醌CAS:53348-05-3

晕苯191-07-1

硝基菲954-46-1

烯丙基苯300-57-2

2,2'-二溴联苯13029-09-9

邻溴氟苯1072-85-1

1,5-二溴-2,4-双(溴甲基)苯35510-03-3

联苯胺基三联苯897921-63-4

4-溴苯甲醛1122-91-4

正丁基锂109-72-8

wyf  01.26
(0)

相关推荐

  • 锦囊|科创50竞争情报(天奈科技、久日新材)

    ░ 天奈科技(SH:688116) 目前市值:99亿元,市盈率 103倍. 图1:天奈科技周K线走势,来源:雪球 所属概念:石墨烯/锂电池 主营业务:从事纳米级碳材料及相关产品的研发.生产及销售. 主 ...

  • 【长长见识】什么是MDI胶?

    MDI是二苯基甲烷二异氰酸酯.含有一定比例纯MDI与多苯基多亚甲基多异氰酸酯的混合物以及纯MDI与聚合MDI的改性物的总称.MDI胶(化学名称:二苯基甲烷二异氰酸酯),即MDI生态胶粘剂,指的是MDI ...

  • cas2173554-89-5|1,3,5-三嗪, 2-[1,1'-联苯]-3-基-4-(8-氯-1-二苯并呋喃基)-6-苯基-三嗪

    cas2173554-89-5|1,3,5-三嗪, 2-[1,1'-联苯]-3-基-4-(8-氯-1-二苯并呋喃基)-6-苯基-三嗪 中文名称:1,3,5-三嗪,2-[1,1'-联苯]Chemical ...

  • 英特尔不仅10nm延期,EUV光刻工艺也要落后三星、台积电两年

    随着Globalfoundries公司无限期退出7nm及以下工艺研发,全球有能力研发先进工艺的只剩下英特尔.台积电及三星,其中英特尔公司是过去几十年中半导体工艺最强大的公司,但是现在他们的10nm工艺 ...

  • RTK操作简要流程~值得收藏

    已知两点坐标,求参数转换 操作一.我的设备(手簿连接移动站) 点击:控制面板 1. 设备属性→蓝牙设备→扫描设备,进行扫描 搜寻到移动站后,点击"+"(对应的移动站机身号)→串口服 ...

  • 酿造白酒生产工艺及流程

    白酒酿造工艺及流程

  • 审核员注册简要流程

    小伙伴们,2020年11月的成绩将于2021年1月7日公布.大家肯定会问,成绩出来了怎么注册实习审核员?没错,通过CCAA基础考试后,你就可以申请实习审核员了,不过申请实习前需先联系认证机构挂靠,根据 ...

  • 生产工艺改善:内容、流程、制度、方案、办法

    阅读导航→ 01 工艺改善内容 02 工艺改善管理流程 03 工艺改善提案制度 04 工艺改善实施方案 05 工艺技术攻关实施办法 一.工艺改善内容 工艺改善是指对产品的生产流程.工作方法,进行持续不 ...

  • 深圳盐田港进口榴莲报关流程手续

    榴莲进口报关所需资料如下: 1.提单.箱单.发票.合同 2.原产地证 3.卫生证(带壳不需要) 4.植检证 5.中文标签 榴莲一般贸易进口流程如下: 1.签订进口合同.外商准备相关单据(产地证.植检证 ...

  • 汽车是怎么开发出来的?浅谈汽车开发流程

    许良  汽车话题下的优秀答主你知道汽车是怎么开发出来的吗?你的脑海中很可能浮现出来这样一个画面:一个非常有艺术气息的设计师,在草图上帅气的描绘着看起来非常犀利的线条.对,但不全对.对于汽车工程师的我而 ...

  • 2021年三亚养猪补贴对象、标准及申请流程介绍!

    近几年随着猪价的上涨,养猪户也越来越多,但是目前生猪养殖成本大幅上升,市场猪肉价格居高不下,为了鼓励生猪养殖,很多地区发布了一系列的养猪补贴政策,今天就给大家介绍一下2021年三亚生猪养殖补贴政策及养 ...

  • 初试数字化转型,某服装公司成功提升业务全流程效率

    艾瑞咨询<2020年中国企业数字化转型路径实践研究报告>中说到,数字化转型的核心本质是利用数字"复制.链接.模拟.反馈"的优势,实现企业转型升级.数字化不是目的,转型才 ...

  • 郑州劳务派遣许可正申请条件和流程

    郑州劳务派遣许可正申请条件和流程 劳务派遣经营许可正申请条件: 1.注册资本不得少于人民币200万元: 2.有与开展业务相适应的固定的经营场所和设施: 3.有符合法律.行政法规规定的劳务派遣管理制度: ...