光刻胶的生产工艺简要流程

光刻胶所属的微电子化学品是电子行业与化工行业交叉的领域,是典型的技术密集行业。从事微电子化学品业务需要具备与电子产业前沿发展相匹配的关键生产技术,如混配技术、分离技术、纯化技术以及与生产过程相配套的分析检验技术、环境处理与监测技术等。同时,

下游电子产业多样化的使用场景要求微电子化学品生产企业有较强的配套能力,以及时研发和改进产品工艺来满足客户的个性化需求。

光刻胶的生产工艺主要过程是将感光材料、树脂、溶剂等主要原料在恒温恒湿 1000 级的黄光区洁净房进行混合,在氮气气体保护下充分搅拌,使其充分混合形成均相液体,经过多次过滤,并通过中间过程控制和检验,使其达到工艺技术和质量要求,后做产品检验,合格后在氮气气体保护下包装、打标、入库。

光刻胶的生产工艺简要流程

光刻胶的技术壁垒包括配方技术,质量控制技术和原材料技术。配方技术是光刻胶实现功能的核心,质量控制技术能够保证光刻胶性能的稳定性而高品质的原材料则是光刻胶性能的基础。

配方技术:由于光刻胶的下游用户是IC芯片和FPD面板制造商,不同的客户会有不同的应用需求,同一个客户也有不同的光刻应用需求。一般一块半导体芯片在制造过程中需要进行10-50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。针对以上不同的应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商核心的技术。

质量控制技术:由于用户对光刻胶的稳定性、一致性要求高,包括不同批次间的一致性,通常希望对感光灵敏度、膜厚的一致性保持在较高水平,因此,光刻胶生产商不仅仅要配臵齐全的测试仪器,还需要建立一套严格的QA体系以保证产品的质量稳定。

原材料技术:光刻胶是一种经过严格设计的复杂、精密的配方产品,由成膜剂、光敏剂、溶剂和添加剂等不同性质的原料,通过不同的排列组合,经过复杂、精密的加工工艺而制成。因此,光刻胶原材料的品质对光刻胶的质量起着关键作用。对于半导体化学化学试剂的纯度,际半导体设备和材料组织(SEMI)制定了国际统一标准,

SEMI 超净高纯试剂标准

半导体集成电路用试剂材料的纯度要求较高,基本集中在SEMI G3、G4水平,我国的研发水平与国际尚存在较大差距;半导体分立器件对超净高纯试剂纯度的要求要低于集成电路,基本集中在 SEMI G2 级水平,国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需要;平板显示和 LED 领域对于超净高纯试剂的等级要求为 SEMI G2、G3 水平,国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求。

2-溴螺[9H-芴-9,9'-[9H]氧杂蒽]899422-06-1

9,9-二苯基-3-溴芴1547491-70-2

4-溴芴酮4269-17-4

2,7-二溴-9,9-二苯基芴186259-63-2

5,9-二溴-7,7-二苯基-7H-苯并[c]芴854952-90-2

2-溴-9,9-二氟-7-碘-9H-芴1499193-60-0

9,9-二甲基-2-溴芴28320-31-2

9-溴-7,7-二甲基-7H-苯并[c]芴1198396-46-1

2,2,7,7-四溴-9,9-螺二芴128055-74-3

4-溴-9,9-二苯基芴713125-22-5

2-氨基-9,9-二甲基芴108714-73-4

2-溴-9,9-二苯基芴474918-32-6

9-(4-溴苯基)-9-苯基芴937082-81-0

9,9-二苯基-2-氨基芴1268519-74-9

2,7-二溴-9,9-二甲基芴28320-32-3

2-溴-9-芴酮3096-56-8

4-溴-9,9'-螺双[9H-芴]1161009-88-6

4,5-二氮芴-9-酮50890-67-0

2,7-二溴-9-芴酮14348-75-5

双酚芴3236-71-3

9,9-双(4-溴苯基)-9H-芴128406-10-0

N-(3-联苯基)-9,9-二苯基-2-氨基芴1607480-14-7

3-溴芴-9-酮2041-19-2

芴-2-硼酸频哪醇酯922706-40-9

芴-2-硼酸片呐醇酯569343-09-5

联苯螺二芴-2-胺1258514-95-2

2-叔丁基-8-溴-氧芴1438391-33-3

2-溴-9,9-二甲基芴23320-31-2

三亚苯217-59-4

2-溴菲62162-97-4

9-溴菲573-17-1

2-溴苯并[9,10]菲, 2-溴三亚苯19111-87-6

2-(3-溴苯基)苯并菲1313514-53-2

2-氯-1,10-菲啰啉7089-68-1

2,7-二溴菲醌84405-44-7

3,6-二溴-9,10-菲醌CAS:53348-05-3

晕苯191-07-1

硝基菲954-46-1

烯丙基苯300-57-2

2,2'-二溴联苯13029-09-9

邻溴氟苯1072-85-1

1,5-二溴-2,4-双(溴甲基)苯35510-03-3

联苯胺基三联苯897921-63-4

4-溴苯甲醛1122-91-4

正丁基锂109-72-8

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