ASML称从2018年至今已经生产了250万张EUV晶圆：最新机器每小时可生产170张

在刚刚过去的IEDM 2019大会上面，ASML这家目前全球最大的EUV光刻机生产商给出了一个数据：从2018年1月份以来，EUV光刻系统生产的晶圆数量已经超过2011年至2017年的总和，达到250万片，而从图上可以看到，从2013开始总共已经生产了多达450万张EUV晶圆。

图片来自于AnandTech，下同

使用EUV光刻系统生产的晶圆数量从2018年开始猛增，其中的一大原因就是ASML的EUV光刻系统开始出货，而在2019年我们看到台积电和三星这两家的EUV生产工艺达到了成熟可用的地步，并且投入了正式的生产，比如麒麟990 5G使用的就是台积电的7nm EUV制程，而三星那边则是有Exynos 9825，而明年则是会有更多的芯片选择使用EUV工艺来制造，比如AMD的Zen 3、高通的5G芯片组等。而Intel那边也是要在7nm节点引入EUV技术进行生产，所以未来使用EUV制程的晶圆数量只会越来越多。

根据目前的数据，截至2019年第二季度，ASML的NXE:3400B系统已经在全球的晶圆生产工厂中安装了38套，而更新的NXE:3400C则是可以达到更高的产能，每小时最高可达170张晶圆。

未来ASML将推出接替NXE系列的EXE:5000系列光刻机，它将会帮助半导体生产商继续攀爬工艺，计划将于2023年推向市场，届时台积电的3nm和Intel的5nm技术可能都将借力于新款的光刻机。