洁净室清洁度要求的四个必要条件
洁净室(CleanRoom),也称为洁净室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,就不可能大量生产对污染敏感的零件。本文仅简要讨论在洁净室净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件。
1.送风清洁度为了确保送风清洁度符合要求,关键是净化系统最终过滤器的性能和安装。考虑到清洁度要求,原则是在低级洁净室中使用低性能过滤器,在高级洁净室中使用高性能过滤器。一般来说:
一百万个等级可以选择高效率和中效过滤器;低于10,000级可以选择亚高效过滤器或A型高效过滤器;10,000至100级使用B型过滤器;100到1级使用C型过滤器。每个清洁度级别似乎都有两种过滤器可供选择。高性能还是低性能的选择取决于特定的情况:当环境污染严重,室内排气比例较大或洁净室时,特别重要的是,需要更大的安全系数。在这些情况或其中一种情况下,应选择更高类型的过滤器;否则,应选择性能较低的滤波器。
2.气流的组织洁净室的气流组织与普通空调室的气流组织不同。它要求首先将最清洁的空气发送到操作部件。其功能是限制和减少加工产品的污染。因此,在设计气流组织时应考虑以下原则:最小化湍流并避免将污染带入工作区域之外;尝试防止二次灰尘飞扬,以减少灰尘污染工件的机会;工作区域的气流应尽量保持均匀,风速应符合工艺和卫生要求。当气流流向回风口时,应有效地清除空气中的灰尘。
3.空气供应或风速充分通风是为了稀释和消除室内污染的空气。根据不同的清洁要求,当洁净室的净高度较高时,应适当增加换气次数。其中,根据高,中效率净化系统考虑一百万级洁净室的通风[7],其余根据高效净化系统考虑通风;当将十万级洁净室高效过滤器布置在机房中央或系统端采用亚高效过滤器时,此时的通风频率可适当提高10-20%。四,静压差在洁净室中保持一定的正压是确保洁净室不受污染或保持洁净度以保持设计洁净度所必不可少的条件之一。即使是负压洁净室,它也必须具有不低于其洁净度水平的相邻房间或套房,以维持一定的正压,这样才能保持负压洁净室的洁净度。
洁净室的正压值是指门窗全部关闭时室内静压大于室外静压的值。通过该方法实现了,净化系统的空气供应量大于回流空气量和排气空气量。为了确保洁净室的正压值,最好将供气,回风和排风扇联锁。打开系统电源时,应先启动送风风扇,然后再启动回风风扇和排气风扇;当系统关闭时,应先关闭排气风扇,然后再关闭风扇和送风风扇。,以防止在打开和关闭系统时污染洁净室。在洁净室中维持正压所需的风量主要取决于维护结构的密封性。在我国无尘室建设的初期,由于封闭结构的气密性差,必须保持≥5Pa的正压,这需要每小时供气2-6次;维修结构的气密性大大提高,相同的正压供气量仅为每小时1〜2次。维持≥1OPa也仅需要2〜3次/小时的供气量。必须保持≥5Pa的正压,这需要2-6次/小时的供气量;维修结构的气密性大大提高,相同的正压供气量仅为每小时1〜2次。维持≥1OPa也仅需要2〜3次/小时的供气量。必须保持≥5Pa的正压,这需要2-6次/小时的供气量;维修结构的气密性大大提高,相同的正压供气量仅为每小时1〜2次。维持≥1OPa也仅需要2〜3次/小时的供气量。