emmi侦测不到亮点之情况

​emmi侦测不到亮点之情况

不会出现亮点之故障：

1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置）；

2.欧姆接触；

3.金属互联短路；

4.表面反型层；

5.硅导电通路等。

亮点被遮蔽之情况：埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置，这种情况可采用Backside模式，但是只能探测近红外波段的发光，且需要减薄及抛光处理。