江苏吴江防静电车间设计装修经验

微电子无尘车间设计中往往会因为静电引起事故发生，因此在微电子无尘车间的设计装修上，防静电能力已经成为评价其质量的一个重要方面。微电子无尘车间静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，例如气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服与衣服之间的摩擦，再加上工艺上的研磨、喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作等可能产生静电。那要想在江苏吴江设计装修一个防静电车间，该怎么做呢？CEIDI西递在实验室、洁净车间及工业装修领域为千余家企业打造了许多标志性工程，成为业内参照的模板，我们可以借鉴该公司的经验。

1.工厂环境建设

工厂环境内应该如何防静电？CEIDI西递的对策核心是：设置静电对策用接地线。在一般的情况下，工厂内的设备接地是与静电地线分离，而在工程内则会单独铺设防静电对策用的接地线，此外，还能与铺设接地线对策并用。同样，CEIDI西递对加湿工程内的湿度管理也进行对策管理：车间湿度控制在50~60%RH左右，最大限度地、有效地预防静电的产生。

2.作业环境建设

工程内的使用物品，比如作业台、作业椅等采取的基本对策是连接地线，保证静电的释放路径的正确性。在工厂内有带电可能性场所的使用表面阻率为104~109Ω·m之间的材料，而且要注意与静电对策用接地线相连接起来。另外，当使用不锈钢钢板时，如果自身的阻率比较低，电流会突然通过接地线，这样会造成半导体的破损和设备的漏电，所以CEIDI西递从保护人身安全角度出发，在通路中加入1MΩ(106Ω)的电阻。

3.设置防静电区域

（1）依据防静电要求设置防静电区域，并标示明显的防静电警示标志，按作业区所使用的器件的静电敏感程度分为3个等级，等级不同，制定的防护措施也不同。

1级静电敏感程度范围：1-1999V；

2级静电敏感程度范围：2000V-3999V；

3级静电敏感程度范围：4000V-15999V；

16000V以上是非静电敏感产品。

（2）静电安全区（点）的室温为20~26℃，相对湿度是45~70%RH。禁止在低于30%的环境内操作SSD（静电敏感源器件）；

（3）静电敏感源器件（SSD）运输、存储、使用要求：

1）SSD运输过程中不能掉落在地上，不能任意脱离、拆开包装；

2）存放SSD的库房相对湿度：30~40%RH；

3）SSD存放过程中保持原包装，若需更换包装，要使用具有防静电性能的容器；

4）装配、焊接、修版、调试等操作人员都必须严格按照静电防护要求进行操作。

作为一家专注于为实验室、洁净室、动物房、手术室等洁净工程提供规划、设计、装修、家具及配套工程一体化服务的集成服务商，CEIDI西递目前已为比亚迪等多家企业设计装修了电子防静电车间，实操经验丰富，是一家值得合作的EPC工程总承包服务商。