铝钪合金Al-Sc溅射靶材的优势及应用(一文介绍)

齐岳生物已开发出一种基于熔融法的工艺，用于生产具有高化学均匀性、低氧含量及 3N 纯度的铝钪合金溅射靶材。

这些合金是专门为这些氮化物压电材料的反应沉积而量身定制的。目前可以提供钪含量最高达30at% 的溅射靶材。不久的将来将可提供钪含量最高达 44at% (56wt%) 的溅射靶材。

铝钪合金溅射靶材的优势

高度一致的化学计量 - 跨越靶材和不同的靶材厚度

纯度 >99.9%

严格控制的微观结构，可实现最佳溅射性能

通过真空铸造制造而成，靶材细致紧密，且氧含量及污染物含量低。

铝钪合金Al-Sc溅射靶材的应用

能量收集

基于压电微机械超声换能器 (PMUT) 阵列的设备，包括指纹传感器、化学传感

器、脂肪传感器和手势控制装置

医疗传感器 – 血压、肾脏功能、血液分析、呼吸监测仪和给药系统

产品：

铜镓合金靶材,Cu+Ga纯度:4N,5N

钴钽锆合金靶材Co+Ta+Zr纯度:3N,3N5

铁钴钽锆合金靶Fe+Co+Ta+Zr,纯度,3N5

铁钴合金靶材Fe+Co,3N,3N6,4N

镍铬合金靶材Ni+Cr,3N,3N6,4N

镍铁合金靶材Ni+Fe,纯度:3N5,4N

镍钒合金靶材Ni+V,纯度:3N, 3N6,4N

铋靶材Bi纯度,4N,5N

铅靶材Pb,纯度,4N

铪靶材Hf,纯度:3N,3N5,3N8,4N

镱靶材Yb,纯度:3N5

钬靶材Ho,纯度:3N,3N5

镝靶材Dy,纯度:3N5

铽靶材Tb,纯度:3N5

钆靶材Gd,纯度:2N,3N,3N5

铕靶材Eu,纯度:3N5

铕靶材Eu,纯度:3N5

钐靶材Sm,纯度:3N5

钕靶材Nd,纯度:3N5

镨靶材Pr,纯度,:3N5

铈靶材Ce,纯度:3N5

镧靶材La,纯度;3N,3N5

钡靶材Ba纯度:3N

碲靶材Te,纯度:4N5,5N

锑靶材Sb,纯度,4N,5N

镉靶材Cd,纯度:4N

钇靶材Y纯度:3N,3N5,4N

硒靶材Se纯度:4N,5N

钪靶材Sc纯度:4N,4N5

钙靶材Ca纯度:2N5

铑靶材Rh纯度:3N5,4N

钯靶材Pd纯度:3N5

锇靶材Os纯度:3N,3N5

铼靶材Re纯度:3N5,4N

钌靶材Rua纯度:3N5

铱靶材Ir纯度:3N5

锗靶材Ge纯度:5N

铂靶材Pt纯度:3N5,4N,4N5

铒靶材Er纯度:2N5,3N,3N5

锰靶材Mn纯度:3N,3N5,4N

锌靶材Zn纯度:4N,4N5,5N

镁靶材Mg纯度:3N8,4N,5N

锂靶材Li纯度:3N

金靶材Au纯度:4N,4N5,5N

锆靶材Zr纯度:2N7~5N

小编：axc