光刻胶光致抗蚀剂含感光树脂、增感剂和溶剂
光刻胶是光刻成像的承载介质，其作用是利用光化学反应的原理将光刻系统中经过衍射、滤波后的光信息转化为化学能量，进而完成掩模图形的复制。目前，集成电路生产中使用的光刻胶一般由聚合物骨架、光致酸产生剂或光敏化合物、溶剂，以及显影保护基团、刻蚀保护基团等其他辅助成分组成 。
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。
光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。
中文名：光刻胶
外文名：photoresist
别名：光致抗蚀剂
成分：感光树脂、增感剂和溶剂
分类：负性胶和正性胶
硅片制造中，光刻胶的目的主要有两个：光刻胶原理，小孔成像；技术源头，古老的相机；
（1）将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中；
（2）在后续工艺中，保护下面的材料（例如刻蚀或离子注入阻挡层）。
分类：
光刻胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。
图1 正性胶的显影工艺与负性胶显影工艺对比
1-丙烯酸金刚烷酯121601-93-2
1-金刚烷基甲基丙烯酸酯16887-36-8
丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯2628-16-2
1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯216581-76-9
2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯249562-06-9
2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯303186-14-3
1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯81665-82-9
2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯254900-07-7
甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[34759-34-7
2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯297156-50-4
2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯251564-67-7
gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯130224-95-2
N-异丙基甲基丙烯酰胺13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯583036-99-1
(5-氧代四氢呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯156938-09-9
1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯266308-58-1
1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[347886-81-1
2-乙烯基萘827-54-3
2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯195000-66-9
丙烯酸甲基环戊酯178889-49-1
丙烯酸1-乙基环戊酯326925-69-3
2-氧代四氢呋喃-3-基丙烯酸酯328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯157057-20-0
1-甲基环己基甲基丙烯酸酯76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯)131787-39-8
1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯178889-45-7
1-乙基环己基甲基丙烯酸酯274248-09-8
4-异丙基苯酚4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯63600-35-1
2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate51920-52-6
甲基丙烯酸四氢呋喃-2-基酯15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯13732-00-8
2,3-二羟基丙烯酸丙酯10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷123455-94-7
二苯基碘酰氯1483-72-3
双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍盐144317-44-2
双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓5421-53-4
TBPDPS-PFBS258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸111281-12-0
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸85342-62-7
六氟二酐（6FDA)1107-00-2
9,9-双(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA)127926-65-2
9,9-双(4-氨基苯基)芴 （FDA)15499-84-0
4,4’-二氨基-2,2’-二甲基联苯 (M-Tolidine)84-67-3
2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基) 六氟丙烷83558-87-6
1,3-双(3-氨基苯氧基)苯 (APB)10526-07-5
4,4'-双(4-氨苯氧基)联苯(BAPB)13080-85-8
1,3-双(4-氨苯氧基)苯2479-46-1
4,4-二氨基联苯-2,2-二羧酸17557-76-5
2,2'-双(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚344-48-9
ODA 4,4'-二氨基二苯醚101-80-4
BAPP 2,2'-双[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷13080-86-9
TPE-Q 1,4-双(4-氨基苯氧基)苯3491/12/1
BPADA 双酚A型二醚二酐38103-06-9
BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐2421-28-5
BPDA 3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐2420-87-3
CBDA 环丁烷四甲酸二酐4415-87-6
DABA 3,5-二氨基苯甲酸535-87-5
TFMB 2,2'-双(三氟甲基)二氨基联苯341-58-2
A-BPDA 2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐36978-41-3
BOAFL 9,9-二[(2,3-环氧丙氧基)苯基]芴47758-37-2
TCA 四氢-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮6053-46-9
ODPA 4,4'-氧双邻苯二甲酸酐1823-59-2
A-ODPA 3,4'-氧双邻苯二甲酸酐50662-95-8
HFBAPP 2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷69563-88-8
4-溴-N-苯基咔唑1097884-37-1
3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑173063-52-0
N-(2-萘基)-3-溴咔唑934545-80-9
1-溴-N-苯基咔唑1333002-37-1
3,6-二叔丁基咔唑37500-95-1
3,6-二溴咔唑6825-20-3
1-溴咔唑16807-11-7
2-溴咔唑3652-90-2
2-氯咔唑10537-08-3
2-羟基咔唑86-79-3
3-溴咔唑1592-95-6
3,6-二苯基-9H-咔唑56525-79-2
4-溴-9H-咔唑3652-89-9
3-苯基-9H-咔唑103012-26-6
11,12-二氢-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑1329054-41-2
9-(4-溴苯基)咔唑57102-42-8
10-溴-7H-苯并[c]咔唑1698-16-4
9-(3-溴苯基)-9H-咔唑185112-61-2
9-(2-溴苯基)-9H-咔唑902518-11-0
3-溴-N-苯基咔唑1153-85-1
3,6-二溴-9-苯基咔唑57103-20-5
3-碘-9-苯基咔唑502161-03-7
9-(1-萘基)-3-溴咔唑934545-83-2
wyf 01.22