镀膜会议回放上线，常见问题汇总
延承首创精神 引领真空未来
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常见问题汇总
Q：泵组配置已经确定了，还有什么办法可能提高抽水汽能力保证短节拍呢？
A：可以考虑通过控制气镇在保证抽水能力的情况下提高抽空节拍。采用电磁气镇的版本，抽空的时候关闭气镇，在待机的时候打开气镇。
Q：抽水气的能力主要跟泵的那些配置有关？
A：首先是泵本身的设计单级旋片泵或者干式螺杆泵的抽水能力通常比较强，其次和泵温，气镇大小等因素相关
Q：PECVD工艺，气体乳化泵油，咋办？
A：PECVD工艺通常首选干泵，油泵需要仔细分析泵油与工艺物质的兼容性
Q：新款的干泵杜绝了油的存在，那前面是和罗茨泵组合的，罗茨泵不是有油吗？那这个组合不还是有油存在？
A：罗茨泵出入口的压差很小，又带有活塞环密封，返油的可能性相对小。如果对油气极其敏感的应用，可以对罗茨配置齿轮箱抽空等附件避免返油
Q：VD是220V，还是380V
A：VD适应国内常用的3相380V电源
Q：VD系列干泵后面有大抽速产品吗？
A：有VDI系列等大抽速版本
Q：sv300系列出场时未配装油过滤器，请问后期保养时加装了，是否对使用上有影响
A：加装了对泵油保护更好，就是换油的时候要记得更换油滤
Q：对振动比较敏感用什么泵组比较好
A：前级泵组可以考虑用波纹管连接，高真空泵组首选分子泵和扩散泵
Q：粗抽阶段，大量粉尘，采用哪种真空泵？
A：干式螺杆泵耐粉尘能力最强，莱宝SP系列的产品专门为粉尘多的应用设计了现场维护功能。在增强泵能力的同时对于粗抽粉尘多的问题，可以采用软抽空等保护措施，双管齐下。
Q：VD工作的表面温度是否比油泵高
A：VD表面温度略低于莱宝SV系列单级旋片泵
Q：有VD替换SV300的方案吗
A：VDI 400
Q：市售上有ND系列 有什麼差別與VD?
A：ND系列是双级油泵，VD是无油干泵，时候的应用场合不同。
Q：罗茨泵的齿轮箱和罗茨泵泵腔是相通的吗
A：中间有活塞环密封
Q：SV300的泵，从真空室内抽出的水份去哪里了？常规的油泵抽出水份和油是在一起的
A：在泵的耐水汽能力范围内水分以气态的形式排出泵外
Q：VARODRY 保护气一般用什么？运行时系统管道需要一个保护气管道吗
A：帮助排出粉尘等杂质保护轴承部分，VD已经配置了保护气阀门直接连接保护气就可以了
Q：两级罗茨泵连630b旋片泵，中间级罗茨泵温度很好是正常吗？
A：负载如果不大，温度不高是正常的
Q：WAU2001罗茨泵油杯经常没油，请帮忙分析一下
A：可以考虑检查一下密封
