报告分享：满足高端芯片抛光的“6N级纳米氧化铝”怎么做？

目前国内外生产超纯超细氧化铝方法有改良拜耳法、硫酸铝铵热解法、碳酸铝铵热解法（AACH）热解法、活性高纯铝水解法、高纯铝箔胆碱水解法、有机醇铝盐水解法、氯化汞活化水解法等7种方法，它们各有优点，但生产的产品都存在质量异议，无法满足高端市场的需求。据统计我国2020年需要超纯超细氧化铝大约120万吨/年，有72%都是从美国、日本、德国进口，特别是我国高端芯片用的超纯超细氧化铝抛光粉99%来源于日本和德国进口。

但如果有一种方法可制备纯度超过5N级，可达99.9997%；粒度范围在80-100nm的超纯超细氧化铝，可满足蓝宝石晶体材料、防弹陶瓷材料，锂电池隔膜材料，尤其是高端芯片抛光材料的需求，将改变该高端应用领域“卡脖子”的现状。

现任山东恒晶新材料有限公司副总兼总工程师——田玉伟高工

田玉伟高工的研究主要集中在超纯超细功能材料、纳米粉体材料等新材料领域，在国内科技期刊发表学术论文30余篇，授权国家发明专利9项，国际发明专利2项。2020104506“蓝宝石单晶用高纯氧化铝”国家标准第一起草人，“绿色设计产品评价技术规范高纯氧化铝”团体标准第三起草人。

他将在“2021年全国氧化铝粉体与制品创新发展论坛”上作题为“超纯超细氧化铝材料的研发及市场前景”的报告，介绍利用醇铝法合成超纯（6N）氢粉，采用表面能控制结合晶种法的制备工艺。其原理是通过表面修饰改变烧结过程中氧化铝颗粒的表面能，抑制高温相变过程中氧化铝颗粒的黏连和急剧长大，获得超纯超细氧化铝电子材料。该技术产业化对实现我国传统产业转型升级、促进战略性新兴产业发展、满足我国重大技术装备急需，具有重要的战略意义。

2021年04月15-16日，山东淄博，不见不散！